真空用步進電機
●無需真空導(dǎo)入裝置,可直接放入真空環(huán)境中使用的步進的電機
●可輕松實現(xiàn)在真空環(huán)境下開環(huán)系統(tǒng)中的高精度控制
●提供能在低真空到超高真空的各種壓力環(huán)境中使用的客制品
●能適應(yīng) 200℃的高溫環(huán)境
●與常用的步進電機尺寸大體相同大致相同
●適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備、人造衛(wèi)星用機器人
●適用于電子顯微鏡、加速器、光輻射分析儀等實驗室設(shè)備
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